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    设备名称:蓝宝石硅片贴片前超声波清洗机

    设备型号:FWA-30120TES
    清洗对象:蓝宝石硅片
    使用厂家:福建晶安光电

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    详细参数 Parameter

    3.1进料→超声波清洗→超声波清洗→超声波清洗→超声波漂洗→出料

    3.2 清洗目的:去除工件加工过程中残留的油污及粉屑

    3.3清洗介质:水+脱脂剂

    3.4清洗对象:晶圆

    3.5 设备流向:从右至左,进出料口设在设备正面,采用垂直进出料方式。

    4.  工作节拍:

    4.1以专用提篮为片盒载具入槽进行处理,每槽同时处理一个专用提篮,提篮规格为560×465×200nn,采用8mm不锈钢元棒焊接制作,,每个2吋提篮可装载2吋晶片21盒(525片)、每个4吋提篮可装载4吋晶片12盒(300片)。每个片盒放置25个晶片

    4.2专用提篮入槽、出槽及槽位间传递均由智能机械臂自动操作完成?;ǖ纳舷铝嫌扇斯ね瓿?。

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